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一、電子廠廢氣來(lái)源和成分
電子行業(yè)污染主要出現(xiàn)在元?dú)饨M件焊接和線路板表面處理等過(guò)程中產(chǎn)生的。電子行業(yè)廢氣主要為有機(jī)廢氣和酸堿廢氣兩類。酸堿類有:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。有機(jī)VOCs廢氣種類有:異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯仿等;這些廢氣直接揮發(fā)至大氣中容易對(duì)大氣造成污染,同時(shí)也會(huì)容易造成周圍群眾慢性中毒,甚至急性中毒,需經(jīng)過(guò)處理后才能進(jìn)行排放。
二、電子行業(yè)廢氣的特點(diǎn)
電子行業(yè)的廢氣具有:排放量大、濃度低、成分復(fù)雜的特點(diǎn)。
三、電子行業(yè)廢氣的處理方法
1、預(yù)處理階段:一般采用噴淋塔先對(duì)廢氣進(jìn)行預(yù)處理,去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
2、主要處理階段:在此階段,比較常見而有效方法有焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、等離子法、光催化氧化法、催化燃燒等。
焚燒法(RTO):能耗大、運(yùn)行成本高,適合處理高濃度、小風(fēng)量有機(jī)廢氣。
吸附法(活性炭):投資小、工藝簡(jiǎn)單,易飽和,需要與脫附、冷凝、焚燒等方法聯(lián)用才能滿足排放要求。
冷凝法:與吸收、吸附等方法聯(lián)用,將有機(jī)廢氣吸附濃縮后冷凝、分離,回收其中有價(jià)值的有機(jī)物。此法適用濃度高、風(fēng)量小的有機(jī)廢氣處理場(chǎng)合。缺點(diǎn)是:投資、能耗、運(yùn)行費(fèi)用高,冷凝回收物提純處理后,仍有相當(dāng)部分液態(tài)廢棄物需要進(jìn)一步處理。該方案與生產(chǎn)設(shè)備、生產(chǎn)工藝存在匹配關(guān)系,偏離這種匹配關(guān)系將提高治理成本,影響治理效果。
光催化氧化法:采用C波段(僅次于切割不銹鋼的激光,強(qiáng)于氬弧焊光源的數(shù)十倍強(qiáng)度)在設(shè)備內(nèi),強(qiáng)裂解惡臭物質(zhì)分子鏈,改變物質(zhì)結(jié)構(gòu),將高分子污染物質(zhì),裂解、氧化成為低分子無(wú)害物質(zhì),如水和二氧化碳等。
高溫等離子凈化法:經(jīng)過(guò)壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應(yīng)器壓力增高,氣體體積急劇膨脹,在高溫、高電勢(shì)的雙重作用下,有機(jī)廢氣瞬間(萬(wàn)分之5秒)成為高溫等離子體,其中長(zhǎng)分子鏈裂解成單質(zhì)原子,有機(jī)物凈化率在90%左右。
催化燃燒法:把廢氣加熱經(jīng)催化燃燒轉(zhuǎn)化成無(wú)害無(wú)臭的二氧化碳和水;本法起燃溫度低、節(jié)能、凈化率高、操作方便、占地面積少、投資較大,適用于高溫或高濃度的有機(jī)廢氣。